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一、厚膜混合集成电路

         在绝缘基板上（通常为陶瓷）用厚膜技术制作出无源元件及其互联线，再采用厚膜组装技术组装上半导体有源器件、IC芯片和其它无源器件（如薄膜电阻或多层陶瓷电容器）组成具有一定功能的混合微电路——厚膜混合集成电路。 “混合”是因为它们在一种结构内组合两种不同的工艺技术：半导体技术 (如：有源芯片器件)和厚膜技术（成批制造的无源元件）。

       

  电位器">电位器结构和种类

　　电位器">电位器由外壳、滑动轴、电阻体和三个引出端组成，如图3所示。电位器">电位器的种类很多，按调节方式可分为旋转式（或转柄式）和直滑式电位器">电位器；按联数可分为单联式和多联式电位器">电位器；按有无开关分为无开关和有开关两种；按阻值输出函数特性可分为直线式电位器">电位器、指数式电位器">电位器和对数式电位器">电位器三种。如实芯电位器">电位器、片式电位器">电位器、碳膜电位器">电位器、玻璃釉电位器">电位器、精密导电塑料电位器">电位器和其他电位器">电位器。

v液体光致抗蚀剂感光的有效波长为300—400nm，因此对干膜和液体光致阻焊剂进行曝

光的设备亦可适用于湿膜曝光，曝光量100—300mJ／平方里米。

v

因为烘烤后膜层的硬度还不足1H，因此曝光对位时需特别小心，以防划伤。虽对湿膜适用

的曝光量范围较宽，但为了增加膜层的抗蚀和抗电镀能力，以取高限曝光为宜。其感光速度与干膜相比要慢得多，所以要使用高功率曝光机。

v

当曝光过度时，正相导线图形易形成散光侧蚀，造成线宽减小，反之负相导线图形形成散 光扩大，线宽增加。当曝光不足时，膜层上出现、砂眼等缺陷。

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